圧電式加速度型ピックアップ製造工程

① 調合

酸化鉛、酸化ジルコニア、酸化チタンを主成分とし、４～５種類の添加剤を加えて、燃結性、電気的特性を良くする。

② 混合

調合した原料粉を、ジルコニア製玉石と水の入ったポットに入れる。
ポットを回転させて、混合･粉砕する。

③ 乾燥

混合されたスラリー状の原料を、バットに流し込み、乾燥器に入れて乾かす。
乾くとヒビ割れした板状に固まる。

④ 粉砕

固まった原料を乳鉢に入れ、乳棒でもちを搗くように砕く。
より細かくするため、粉砕された原料を乳鉢に入れ、すりこぎで摺るようにすり潰す。

⑤ 混合

摺り潰した原料粉を、再びジルコニア製玉石と水の入ったポットに入れる。
ポットを回転させて、混合・粉砕する。
次工程へ行く前に、成型のときツナギの役割をするバインダー（PVA系）を加える。

⑥ 造粒

スラリー状の原料を、ローラポンプを使ってチューブで吸い上げ、熱風中で高速回転している円盤上に、滴下させる。
滴下した原料は、飛沫となり、袋中を落下する間に粉体となり回収される。
スプレードライヤで作られた粉は、細かく、粒度が揃い流動性が良いので、成型性に優れる。

⑦ 成型

円筒状の金型に、原料を振込み、パンチ蓋をはめ込み、 1000〜3000kg/cm²の圧力で、プレスする。原料粉は、円板状に固まる。

⑧ 脱脂

成型原料を400〜600℃の熱風炉に入れ、成型性を良くするために加えられたバインダー（PVA系）成分を飛ばす。

⑨ 焼成

成型原料をサヤ（アルミナ製の箱）に詰める。
サヤを炉に入れ、1000〜1300℃の酸化雰囲気で焼成する。
成型原料は、セラミック（結晶粒）に変わる。

⑩ 研磨

焼成されたセラミックの、両面を研磨し、定められた厚みにする。

⑪ 銀塗

研磨された面に、スクリーン印刷機で、銀ペーストを印刷する。

⑫ 銀焼

炉に入れて、銀ペーストを、セラミック面に溶着させる。
溶着銀面を、電極として用いる。

⑬ 分極

約200℃に加熱したシリコン油の中で、電極間に、1〜2kV/mmの高電圧を加える。
セラミック内部で、ランダム方向を向いていた分域が電界方向に揃い、圧電性が顕在化する。

⑭ 検査

分極されたセラミックを、検査する。

検査項目
1. 結合係数（機械－電気変換係数）
2. 共振周波数
3. 静電容量
4. 絶縁抵抗
5. キューリー点温度
6. 比重

⑮ 加工

センサーとして必要な形状に加工する。
圧縮型・せん断型・円板・円筒・角板

⑯ メッキ

せん断型に用いるセラミックは、加工後、加工面（分極軸と平行方向）に、無電解ニッケルメッキを着けて、電極を付替える。

⑰ 組立

圧電セラミックス、機械加工部品、コネクタ等を組立て、配線し、圧電センサーを、製作する。

検査

組立てられた、圧電センサーを、検査する。

検査項目
1. 電荷感度
2. 静電容量
3. 絶縁抵抗
4. 周波数特性
5. 温度特性 等

製品完成